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      diener真空等離子清洗機

      簡要描述:diener真空等離子清洗機Femto RIE表面清洗
      適用6寸以下樣品的處理
      用于硅片、玻璃、塑膠材料表面的處理
      配置自動/手動模式,實現控制高機能
      桌上型,省空間
      適合于研究院、高校、研發中心使用

      • 所在城市:國外
      • 廠商性質:代理商
      • 更新日期:2024-12-02
      • 訪  問  量:3056
      詳細介紹
      品牌Diener產地類別進口
      應用領域化工外形尺寸W560?x?D600?x?H860mm
      電源AC230?V?/?16?A真空泵排氣速度不小于4m3/H,?極限真空度小于10Pa
      工藝氣路單路,雙路,三路工藝氣體O2,Ar,N2,CO2,H2(CF4,SF6,NH3)*1

      diener真空等離子清洗機/低壓等離子系統,適用于等離子清洗、活化、蝕刻及涂層

      德國Diener electronic成立于1993年,是一家專門研發和制造低溫低壓等離子清洗機、等離子射頻電源和大氣(常壓)等離子清洗機的高科技企業。

      diener真空等離子清洗機用途:

      ·適用6寸以下樣品的處理
      ·用于硅片、玻璃、塑膠材料表面的處理
      ·配置自動/手動模式,實現控制高機能
      ·桌上型,省空間
      ·適合于研究院、高校、研發中心使用

      特點:

      表面清洗活化
      表面蝕刻

      可以更靈活地操作,簡便地改變處理氣體的種類和處理程序;不會對操作人員的身體造成任何傷害;其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。

      參數:


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