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      Diener 等離子表面處理儀 Tetra150

      簡(jiǎn)要描述:Diener 等離子表面處理儀 Tetra150特點(diǎn)
      ·便捷的觸摸屏操作界面

      ·數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示方式

      ·異常報(bào)警功能

      ·自動(dòng)/手動(dòng)操作模式可切換

      • 所在城市:上海市
      • 廠商性質(zhì):代理商
      • 更新日期:2024-12-02
      • 訪  問(wèn)  量:1387
      詳細(xì)介紹
      品牌其他品牌產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
      應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)林牧漁工藝氣體O2 Ar N2 Air SF6 CF4
      流量計(jì)MFC /防腐型MFC不銹鋼真空腔體W400xD625xH625/150L
      鋁合金真空腔體W400xD625xH625/150L外形尺寸WDH(mm)600x850x1700(2100)
      電源AC400 V / 16 A

      Diener 等離子表面處理儀 Tetra150

      特點(diǎn)

      ·便捷的觸摸屏操作界面

      ·數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示方式

      ·異常報(bào)警功能

      ·自動(dòng)/手動(dòng)操作模式可切換

      ·儲(chǔ)存多套工藝程序

      ·遠(yuǎn)程操控,數(shù)據(jù)導(dǎo)出

      ·模塊多樣化選擇,多層托盤可選,處理量大

       

       

      Diener 等離子表面處理儀 Tetra150規(guī)格

      型號(hào)

      Tetra 150

      控制系統(tǒng)

      控制方式

      全自動(dòng)控制(自動(dòng)/手動(dòng)切換)

      BASIC PC

      FULL PC

      操作系統(tǒng)

      Windows CE

      Windows 10

      觸摸屏

      3.5/7”

      15”

      工藝氣體

      O2 Ar N2 Air SF6 CF4

      工藝氣路

      1-3(可選)

      1-10(可選)

      流量計(jì)

      MFC /防腐型MFC

      真空腔體

      不銹鋼W400xD625xH625/150L

      鋁合金W400xD625xH625/150L

      電極

      材質(zhì)

      鋁/不銹鋼電極

      層數(shù)

      1-12(可選)

      1-2

      1-5

      真空壓力計(jì)(mba)

      皮拉尼傳感器(0-9.99)

      發(fā)生器

       

      40kHz 0-1500W

      80kHz 0-1000W 0-3000W

      13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W

      2.45GHz 0-1200W

      托盤

      不銹鋼/鋁

      實(shí)板/鏤空

      層數(shù)

      1-12(可選)

      外形尺寸WDH(mm)

      600x850x1700(2100)

      電源

      AC400 V / 16 A

      真空泵抽氣速度

      根據(jù)工藝選擇

      選配件

      單體導(dǎo)入模塊、遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)、防腐系統(tǒng)、氣浴、托盤/腔體冷卻系統(tǒng)、加熱模塊、RIE電極(刻蝕)、石英舟、干泵

       

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