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Diener 等離子蝕刻機 FEMTO RIE

簡要描述：Diener 等離子蝕刻機 FEMTO RIE特點：
&amp;#183;適用6寸以下樣品的處理

&amp;#183;用于塑膠材料表面的處理

&amp;#183;配置自動/手動模式，實現控制高機能

&amp;#183;桌上型，省空間

&amp;#183;適合于研究院、高校、研發中心使用

所在城市：上海市
廠商性質：代理商
更新日期：2024-12-02
訪問量：2135

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Diener

聚對二甲苯涂層常壓等離子等離子蝕刻機等離子去膠機等離子體發生器等離子表面處理儀低壓等離子表面處理設備查看全部產品

詳細介紹

品牌	其他品牌	價格區間	面議
產地類別	國產	應用領域	醫療衛生,環保,生物產業,農林牧漁

Diener 等離子蝕刻機 FEMTO RIE

特點：

·適用6寸以下樣品的處理

·用于塑膠材料表面的處理

·配置自動/手動模式，實現控制高機能

·桌上型，省空間

·適合于研究院、高校、研發中心使用

用途：

·表面清洗活化

·表面蝕刻

Diener 等離子蝕刻機 FEMTO RIE規格

型號	FEMTO RIE(防腐)*1	FEMTO RIE(防腐)*1
控制方式	按鍵操作控制	Windows CE 7”觸摸屏操作控制
操作方式	手動	手動/自動
程序存儲	—	50組
工藝過程監控	—	二維折線圖與數字實時顯示
程序偏離值	—	抽真空時間、進氣量偏差值，實際功率輸出
報錯功能	—	顯示詳細的報錯信息
數據導入導出	—	USB
選程控制	—	選配
工藝氣路	單路，雙路，三路
工藝氣體	O2，Ar，N2，CO2，H2（CF4,SF6，NH3）*1
流量計	針閥流量計（可選防腐針閥流量計）*1	MFC流量計（可選防腐MFC流量計）*1
沖洗氣路	一路
泄氣氣路	一路
真空計	指針式/0-10mbar	數字式/0-9.99mbar
計時器	0~999.9H
真空腔體	不銹鋼圓形腔體蓋子門帶觀察窗尺寸Φ190mm x H60mm 容積1.7L
電極	不銹鋼氣浴RIE電極， Φ160mm
發生器	40 kHz 0-100W ,100 kHz 0-500W, 13.56 MHz 0-300W
外形尺寸（WxDxH）	560 x 600 x 860mm
電源	AC230 V / 16 A
真空泵	排氣速度不小于4m3/H, 極限真空度小于10Pa
選配功能	托盤冷卻,腔體溫度監控,冷水綱

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